4. 様々な機能性薄膜の成膜プロセス開発

スマートメータ用ホール素子合金膜(InSb)、撥水膜(フッ素系樹脂)・親水膜(TiO2)、透明導電膜(ITO・AZO等)、装飾膜(CoAl2O4)などの様々な機能性薄膜の成膜プロセス開発を行っています。スパッタリングプロセスにおける基本的なプロセスパラメータと物性との相関関係を薄膜作製→機能性評価→分析解析の一連の流れにより明確化することでプロセスマージンまで明らかにした実用的な物性制御技術の確立を行っています。

• fig.7運動エネルギーとシート抵抗の関係 (AZO薄膜)
• fig.8PTFE薄膜の接触角評価
• fig.9600℃で作製したCoAl2O4薄膜