研究設備

本研究室では誰もが成膜実験、分析評価実験を円滑に行えるよう、以下の装置を保有しています。
快適な環境にて思い切り実験を楽しんで下さい。

DC-RF併用式マグネトロンスパッタリング装置
(本研究室オリジナル)

DC-RF多源マグネトロンスパッタリング装置
(本研究室オリジナル)

Radical Assisted Sputtering装置
(RAS-1100C, シンクロン)

触針式段差計(D-100, KLA Tencor)

走査プローブ顕微鏡(Nanocute, 日立製作所)

走査プローブ顕微鏡(SPA400/SPI3800N, SII)

自動接触角計(DropMaster/DM300, 協和界面科学)

電気化学アナライザー(IM6ex, ZAHNER)

自動エリプソメータ(DHA-FX, 溝尻光学工業所)

蛍光X線分析装置(Supermini200, リガク)

X線回折装置(SmartLab, リガク)

分光光度計(U-4000, 日立製作所)

卓上型ガス置換電気炉(AMF-N, アサヒ理化製作所)

卓上真空ガス置換炉(FUA112DB, アドバンテック東洋)